Nanoparticle Engineering for Chemical - Mechanical Planarization: Fabrication of Next-Generation Nanodevices
Trong quá trình phát triển các thiết bị nano thế hệ tiếp theo, tốc độ cao hơn và hoạt động với công suất thấp hơn là mục tiêu của trò chơi. Việc ngày càng phụ thuộc vào máy tính di động, điện thoại di động và các thiết bị điện tử khác đòi hỏi tốc độ và công suất cao hơn. Khi quá trình san phẳng hóa học cơ học (CMP) dần dần được coi là công nghệ tiên tiến hơn là nghệ thuật đen tối, thì nó đang nổi lên như một công nghệ để đạt được các thiết bị hiệu suất cao hơn.
![[Coursera] Khóa học “Tìm hiểu các phương pháp nghiên cứu” của ĐH Luân Đôn](https://lic.haui.edu.vn/media/78/t78458.jpg)
