Fracture Toughness of Freestanding Metallic Thin Films Studied by Bulge Testing

Ngày nay, màng mỏng kim loại thường được sử dụng làm thành phần chủ chốt trong các hệ thống vi điện tử và vi cơ điện tử, do đó chức năng của các hệ thống này thường phụ thuộc vào tính toàn vẹn cấu trúc của màng mỏng được tích hợp. Do đó, độ bền gãy của màng mỏng trở thành một thông số thiết kế rất quan trọng vì nó định lượng khả năng chống lại sự lan truyền vết nứt của màng mỏng.

Xem thêm