Nghiên cứu, thiết kế và chế tạo cảm biến đo độ dày màng mỏng ứng dụng trong y sinh
Đề tài trình bày về nghiên cứu, thiết kế chế tạo cảm biến kiểu điện dung không tiếp xúc đo độ dày màng mỏng ứng dụng trong y sinh. Thiết kế cảm biến được lựa chọn là điện cực đồng phẳng dạng xoắn ốc.