SiC based Miniaturized Devices

Thiết bị MEMS được tìm thấy trong nhiều thiết bị và hệ thống điện tử ngày nay, từ cảm biến túi khí trong ô tô đến điện thoại thông minh, hệ thống nhúng, v.v. Việc giảm kích thước ngày càng dẫn đến các thiết bị có kích thước nanomet, được gọi là NEMS. Số lượng lớn các ứng dụng trên thị trường thương mại đã nói lên điều đó và đặc biệt là đối với việc sản xuất MEMS và NEMS dựa trên silicon có độ chính xác cao. Mặc dù đây là một thành tựu to lớn nhưng silicon với tư cách là vật liệu vẫn có một số nhược điểm, chủ yếu là về độ mỏi cơ học và tính chất nhiệt. Cacbua silic (SiC), một chất bán dẫn dải rộng nổi tiếng được áp dụng trong các sản phẩm thương mại đang có mức tăng trưởng theo cấp số nhân, đặc biệt là trong lĩnh vực điện tử công suất. Mặc dù SiC MEMS đã tồn tại trong nhiều thập kỷ