Micro Electronic and Mechanical Systems
Cuốn sách này thảo luận về các khía cạnh chính của lĩnh vực công nghệ MEMS, được tổ chức thành hai mươi bảy chương trình bày những phát triển nghiên cứu mới nhất trong các hệ thống vi điện tử và cơ khí. Cuốn sách đề cập đến nhiều vấn đề cơ bản và thực tế liên quan đến MEMS, các thiết bị kim loại-ôxít-bán dẫn (MOS) tiên tiến và các thiết bị MOS bổ sung (CMOS), công nghệ SoC, thử nghiệm và xác minh mạch tích hợp và các chủ đề quan trọng khác trong lĩnh vực này.
Thứ Hai, 09:32 21/04/2025
Copyright © 2018 Hanoi University of Industry.