Lithography

In thạch bản, quá trình chế tạo cơ bản của các thiết bị bán dẫn, đóng vai trò quan trọng trong chế tạo vi mô và nano và cuộc cách mạng trong mạch tích hợp mật độ cao. Cuốn sách này là kết quả của nguồn cảm hứng và đóng góp từ nhiều nhà nghiên cứu trên toàn thế giới. Mặc dù việc đưa vào các chương sách có thể không phải là sự thể hiện đầy đủ của tất cả các nghệ thuật in thạch bản, nhưng nó đại diện cho một bộ sưu tập tốt các đóng góp trong lĩnh vực này. Chúng tôi hy vọng độc giả sẽ thích đọc cuốn sách này nhiều như chúng tôi đã thích khi tập hợp nó lại với nhau. Chúng tôi muốn cảm ơn tất cả những người đóng góp và tác giả của cuốn sách này.

Lithography